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真空泵

帶有預進氣冷卻裝置的真空泵

文字:[大][中][小] 手機頁面二維碼 2022/12/16     瀏覽次數:    


概述

真空專家: 帶有預進氣冷卻裝置的 AERZEN 鼓風機

為了實現(xiàn)預進氣冷卻,殼體在進氣側增加了一個插口(原有兩個,現(xiàn)為三個)。 滑油供應由濺油潤滑實現(xiàn)。 輸送室由密封裝置真空密封。 驅動軸由帶有油欄的兩個徑向密封環(huán)密封。 流動方向為縱向,自上而下。 驅動可以通過直接耦合也可以通過窄 V 型皮帶來實現(xiàn)(在限制壓力差之下)。


These blowers are useful in improving production processes in a wide variety of industries, including:

Chemical Process Technology

Evacuation of Hydrogen

Thin Film Foil and Glass Coating

Helium Leak Indication Units

Laser Technology

Manufacturing of Flat Screens Manufacturing of Melting Furnaces/ Metallurgy

Micro-Electronics Manufacturing

Semiconductor Instrument Manufacturing

Solar Technology


應用 AERZEN MHV 系列鼓風機的特殊優(yōu)勢:

有 11 種結構尺寸可選

在適用范圍內,粗略真空可作為多級泵座的中間級,或者作為相對于大氣壓力的負壓級亦適用

壓力差可達 800 mbar

適用于較高的壓縮比和 p1/p2 = 5 以內的粗略真空范圍

適于持續(xù)運行且不會造成過熱問題

明顯降低壓縮排氣溫度

無需其他必要的閥門、控制器等

信息與文檔


技術參數

結構形式:正排量風機

體積流量:250 止于  61.000 m3/h

介質:空氣 , 中性氣體 , 腐蝕性氣體

輸送:無油

FINAL VACUUM:最大表壓(單位:10mbar)

PRESSURE DIFFERENCE:最大表壓(單位:10 - 300mbar)


應用

適用于應用的天才。

帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 鼓風機經過專門設計,可輸送中性(HM 系列)和腐蝕性(CM 系列)氣體,專用于工業(yè)高真空技術。 密閉式電機鼓風機始終結合前級泵使用*。

此前級泵在大氣壓力條件下開始運行。 通常在大約 50 至 200 mbar 的條件下連接密閉式電機鼓風機,然后泵送流程啟動。 根據應用的不同,可以使用液環(huán)泵、滑片式真空泵、螺桿真空泵或鼓風機作為前級泵。 配有 AERZEN 變頻器并使用專用參數集時,前級泵也可以在大氣壓力條件下運行。


應用領域

半導體行業(yè)

微電子工業(yè)

平面屏幕制造

激光技術

太陽能技術

氦檢漏裝置

化學工藝技術

箔紙和玻璃噴漆

熔爐制造

氫的提取

*使用帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 真空鼓風機時,必須配備額外的前級泵(多級系統(tǒng))。

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